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Volume 2,Issue 7

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20 June 2025

半导体工业厂房高效制冷机房系统设计探讨

威 曾1
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1 广东 广州, 中国
ME 2025 , 2(6), 105–107; https://doi.org/10.61369/ME.2025060005
© 2025 by the Author. Licensee Art and Design, USA. This article is an open access article distributed under the terms and conditions of the Creative Commons Attribution -Noncommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0) ( https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ )
Abstract

半导体工业厂房制冷系统要求特殊,涉及环境控制、设备选型、管网设计等多方面。温湿度、洁净度、振动控制要求高,设备选型需优化,管网要水力平衡,蓄冷系统要合理设计,还介绍了能效评估等内容,需融合新技术满足需求。

Keywords
半导体厂房
制冷系统
高效节能
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